| 主要功能參數(shù) | JY-CZ1400 | |
| CCD | 相素 | 8,000,000(COLOUR) |
| 個(gè)數(shù) | 單/雙CCD | |
| 晶料相關(guān) | 裝料量 | >600KG(32") |
| 通用直徑 | 8~12"/或非標(biāo) | |
| 坩堝直徑 | 32"/36" | |
| 晶棒最長(zhǎng)尺寸 | >5000mm | |
| 機(jī)器外型 | 中爐內(nèi)徑 | 1400mm |
| 機(jī)器安裝面積 | 2380x2160 | |
| 機(jī)器高度 | 12600 | |
| 爐體重量 | 6000KG | |
| 電源系統(tǒng) | 輸入電源 | 三相 AC380V±5% MAX:350KVA |
| 電源頻率 | 50Hz/60Hz | |
| 主加熱器功率 | MAX:150KW DC60V 3000A |
|
| 副電源裝置 | 120KW/60/2000A | |
| IGBT | 全水冷數(shù)字CPU控制 | |
| 水冷熱屏升降 | 有 | |
| 籽晶升降 | 籽晶行程 | 7500mm |
| 籽晶升速 | 低速0-10mm/min 高速1000mm/min |
|
| 籽晶承重 | >1000KG | |
| 籽晶轉(zhuǎn)速 | 0-40 rpm | |
| 籽晶繩材質(zhì) | 鎢質(zhì) 直徑 4mm | |
| 坩堝升降 | 坩堝行程 | 550mm |
| 坩堝升速 | 低速0-0.5mm/min 高速200mm/min |
|
| 坩堝轉(zhuǎn)速 | 0-20 rpm | |
| 最大載重 | >2100KG | |
| 其他 | 籽晶晃動(dòng)范圍 | 籽晶轉(zhuǎn)速<12rpm時(shí) 晃動(dòng)<2mm |
| 爐體水平度 | 水平<0.06mm/m | |
| 極限真空 | <3mT | |
| 真空漏氣率 | <0.5mT/Min | |
| 控制方式 | PLC | 三菱R系列PLC |
| PC | 高性能PC(觸摸屏) | |
| 自動(dòng)/手動(dòng) | 全自動(dòng) | |
| 稱重系統(tǒng) | 顯示精度 | 0.1KG |
| 液面測(cè)溫 | 控制范圍 | 無(wú) |
| 相素 | 8,000,000(COLOUR) |
| 個(gè)數(shù) | 單/雙CCD |
| 裝料量 | >600KG(32") |
| 通用直徑 | 8~12"/或非標(biāo) |
| 坩堝直徑 | 32"/36" |
| 晶棒最長(zhǎng)尺寸 | >5000mm |
| 中爐內(nèi)徑 | 1400mm |
| 機(jī)器安裝面積 | 2380x2160 |
| 機(jī)器高度 | 12600mm |
| 爐體重量 | 6000KG |
| 輸入電源 | >三相 AC380V±5% MAX:320KVA |
| 電源頻率 | 50Hz/60Hz |
| 主加熱器功率 | MAX:150KW DC60V 3000A |
| 副電源裝置 | 120KW/60/2000A |
| IGBT | 全水冷數(shù)字CPU控制 |
| 水冷熱屏升降 | 有 |
| 籽晶行程 | 7500mm |
| 籽晶升速 | 低速0-10mm/min 高速1000mm/min |
| 籽晶承重 | >1000KG |
| 籽晶轉(zhuǎn)速 | 0-40 rpm |
| 籽晶繩材質(zhì) | 鎢質(zhì) 直徑 4mm |
| 坩堝行程 | 550mm |
| 坩堝升速 | 低速0-0.5mm/min 高速200mm/min |
| 坩堝轉(zhuǎn)速 | 0-20 rpm |
| 最大載重 | >2100KG |
| 籽晶晃動(dòng)范圍 | 籽晶轉(zhuǎn)速<12rpm時(shí) 晃動(dòng)<2mm |
| 爐體水平度 | 水平<0.06mm/m |
| 極限真空 | <3mT |
| 真空漏氣率 | <0.5mT/Min |
| PLC | 三菱R系列PLC |
| PC | 高性能PC(觸摸屏) |
| 自動(dòng)/手動(dòng) | 全自動(dòng) |
| 顯示精度 | 0.1KG |
| 控制范圍 | 無(wú) |